Slynx是一款專為工業和研究所設計的全新非接觸式3D光學輪廓儀。它設計簡潔、用途多樣。Slynx能夠測量不同的材質,結構,表面粗糙度和波度,幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的高端形貌測量應用。Sensofar的核心專利是將3種測量方式融於一體,確保了其完美的性能。配合SensoSCAN軟體系統,使用者將獲得難以置信的直觀操作體驗。
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三合一技術:
<共聚焦技術>
共聚焦技術可用於測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向解析度,可達0.09μm,利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的物鏡時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70(粗糙表面達86)。專利的共聚焦演算法保證Z軸測量重複性在納米範疇。
<干涉技術>
共聚焦技術可用於測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向解析度,可達0.09μm,利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的物鏡時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70(粗糙表面達86)。專利的共聚焦演算法保證Z軸測量重複性在納米範疇。
<多焦面疊加技術>
共聚焦技術可用於測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向解析度,可達0.09μm,利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的物鏡時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70(粗糙表面達86)。專利的共聚焦演算法保證Z軸測量重複性在納米範疇。
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無運動部件的共聚焦
共聚焦技術可用於測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向解析度,可達0.09μm,利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的物鏡時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70(粗糙表面達86)。專利的共聚焦演算法保證Z軸測量重複性在納米範疇。