产品资讯

3D检测相机 白光干涉

Slynx

紧凑型3d表面轮廓仪

˙三合一技术:共聚焦、多焦面迭加、干涉测量
˙单次测量

應用領域:
汽车业
消费电子产品
能源行业
液晶显示屏
材料学
微电子学
微制造业
微体古生物学
光学器件
机床加工业
半导体行业
手表制造业


Slynx是一款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D光学轮廓仪。它设计简洁、用途多样。Slynx能够测量不同的材质,结构,表面粗糙度和波度,几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。Sensofar的核心专利是将3种测量方式融于一体,确保了其完美的性能。配合SensoSCAN软件系统,用户将获得难以置信的直观操作体验。

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三合一技术:

<共聚焦技术>
共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70(粗糙表面达86)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

<干涉技术>

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70(粗糙表面达86)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

<多焦面叠加技术>

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70(粗糙表面达86)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

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无运动部件的共聚焦

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70(粗糙表面达86)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。